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碳化硅機(jī)械手臂


西安中威(ZHWE)專業(yè)生產(chǎn)用于半導(dǎo)體設(shè)備上使用的陶瓷配件,例如碳化硅陶瓷機(jī)械手臂、碳化硅陶瓷吸盤,碳化硅SIC載盤、碳化硅基板等。主要材料包括95-99.9%氧化鋁,氧化鋯,以及氮化硅,碳化硅陶瓷。基本尺寸精度可以控制在0.01mm左右。
主要特點(diǎn):
?致密質(zhì),高硬度,高耐磨性
?良好的耐熱性能
?優(yōu)良的機(jī)械強(qiáng)度
?高溫環(huán)境仍具有良好的絕緣性
?良好的抗腐蝕性
碳化硅陶瓷機(jī)械手臂、碳化硅陶瓷吸盤,碳化硅SIC載盤、碳化硅基板選購
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